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      真空區(qū)域的劃分及前級真空泵的選擇
      
        
      更新時間：2011-12-26　點擊量：6226 
      
        
       
           
      真空泵真空區(qū)域的劃分
                  
                              
      真空區(qū)域
                        		                        
      壓強范圍
                        		        
              
                              
      托（Torr）
                        		                        
      帕（Pa）
                        		        
              
                              
      低真空
                        		                        
      760~10
                        		                        
      101325~1333
                        		        
              
                              
      中真空
                        		                        
      10~10-3
                        		                        
      1333~1.33×10-1
                        		        
              
                              
      高真空
                        		                        
      10-3~10-8
                        		                        
      1.33×10-1~10-6
                        		        
              
                              
      超高真空
                        		                        
      10-8~10-12
                        		                        
      10-6~10-10
                        		        
              
                              
      *真空
                        		                        
      ＜10-12
                        		                        
      ＜10-10
                        		        
          
      對于需要配前級泵的抽氣機組，主泵選完之后，重要的問題是如何選配合適的前級泵和預(yù)抽泵。選配前級泵的原則是：
          （1）前級泵在主泵出口處造成的壓力應(yīng)低于主泵的大排氣壓力
          （2）前級泵應(yīng)保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。
          （3）兼作預(yù)抽泵的前級泵要滿足預(yù)抽時間及預(yù)抽真空度的要求。
          根據(jù)主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級泵，如擴散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預(yù)抽真空泵，而不需要配前級泵，如各種吸附冷凝泵等。
           主泵配前級泵計算時，需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
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